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DIC精度檢驗(yàn)方法

試驗(yàn)檢驗(yàn)

試驗(yàn)檢驗(yàn)分為前期檢驗(yàn)、過程檢驗(yàn)、最終檢驗(yàn)。前期檢驗(yàn)主要檢查計量證書時間的有效性，確保設(shè)備精度在有效期內(nèi)。過程檢驗(yàn)主要檢查測量視野及軟件精度控制。最終檢驗(yàn)主要檢查計算結(jié)果及設(shè)備精度。

前期檢驗(yàn)

試驗(yàn)前需檢驗(yàn)標(biāo)定板的精度，確保標(biāo)定板精度有效。標(biāo)定板的檢驗(yàn)通常在第三方計量機(jī)構(gòu)（如計量院）進(jìn)行，確保精度可溯源。標(biāo)定板證書有效期為一年。

檢驗(yàn)方法

檢驗(yàn)器具

檢驗(yàn)頻度

測量標(biāo)定板對角線編碼點(diǎn)的圓心距離

光學(xué)三坐標(biāo)測量機(jī)

一年一次


圖：標(biāo)定板計量內(nèi)容

實(shí)驗(yàn)前需確保設(shè)備精度在有效期內(nèi)，設(shè)備的計量檢驗(yàn)通常在第三方計量機(jī)構(gòu)（如計量院）進(jìn)行，確保精度可溯源。精度計量報告有效期為一年。

檢驗(yàn)方法

檢驗(yàn)器具

檢驗(yàn)頻度

在氣浮導(dǎo)軌平臺上粘貼靶標(biāo)點(diǎn)或散斑圖案，將氣浮導(dǎo)軌移動一個位移值，將本設(shè)備的測量結(jié)果與激光干涉儀的測量結(jié)果進(jìn)行對比，偏差在0.01mm以內(nèi)。

激光干涉儀及氣浮導(dǎo)軌平臺

一年一次

圖：測量示意圖

過程檢驗(yàn)

對測量視野進(jìn)行檢驗(yàn)，確保測量視野滿足要求，能夠覆蓋樣品觀測區(qū)域。測量視野=相機(jī)芯片尺寸*測量距離/鏡頭焦距，通過調(diào)節(jié)測量距離即可獲取合適的測量視野?？蓪y量視野看做是設(shè)備的固有屬性，只需檢驗(yàn)一次即可。實(shí)驗(yàn)過程中可目測檢驗(yàn)，即測量視野完全覆蓋樣品區(qū)域。

檢驗(yàn)方法

檢驗(yàn)器具

檢驗(yàn)頻度

將設(shè)備架設(shè)到合適的測量距離，將卷尺放置于視野內(nèi)，量取視野X方向、Y方向長度。

卷尺或鋼尺

設(shè)備固有屬性，檢驗(yàn)一次即可。

圖：測量視野檢驗(yàn)

對測量視野景深進(jìn)行檢驗(yàn)，確保樣品Z向變形或移動，在相機(jī)視野內(nèi)成像依舊清晰。景深的大小與鏡頭光圈值、鏡頭焦距、測量距離等有關(guān)，若固定光圈值，可將景深看做是設(shè)備的固有屬性，只需檢驗(yàn)一次即可，若甲方對景深存有疑慮，也可每次搭建起設(shè)備測量一次。

檢驗(yàn)方法

檢驗(yàn)器具

檢驗(yàn)頻度

采用直線導(dǎo)軌進(jìn)行檢驗(yàn)，在直線導(dǎo)軌端面粘貼靶標(biāo)點(diǎn)或散斑圖案，將端面正對相機(jī)沿Z向移動一定的位移，觀測移動過程中散斑圖像的清晰度，并將本設(shè)備計算的Z向位移與卷尺量取的導(dǎo)軌移動位移進(jìn)行對比。

直線導(dǎo)軌、卷尺

檢驗(yàn)一次即可，或每次調(diào)整過相機(jī)、鏡頭后檢驗(yàn)一次。

圖：測量示意圖

標(biāo)定精度對實(shí)驗(yàn)結(jié)果起著至關(guān)重要的作用，實(shí)驗(yàn)時需對標(biāo)定精度進(jìn)行檢驗(yàn)。

檢驗(yàn)方法

檢驗(yàn)器具

檢驗(yàn)頻度

按標(biāo)定步驟進(jìn)行相機(jī)標(biāo)定，標(biāo)定誤差在0.05像素以內(nèi)表示合格

無

若相機(jī)相對位置不變，一天一次；若相機(jī)相對位置變動或調(diào)節(jié)過鏡頭焦距光圈或更換鏡頭，立即標(biāo)定檢驗(yàn)。

圖：標(biāo)定結(jié)果

在樣品表面制備散斑圖案，并將樣品加持到實(shí)驗(yàn)裝置后，相機(jī)拍攝樣品靜態(tài)圖片，分析靜態(tài)位移跳動。

檢驗(yàn)方法

檢驗(yàn)器具

檢驗(yàn)頻度

分析樣品鏡頭位移跳動數(shù)據(jù)，全場位移靜態(tài)跳動值在0.01mm以內(nèi)。

無

每標(biāo)定一次，檢驗(yàn)一次

圖：靜態(tài)位移數(shù)據(jù)

最終檢驗(yàn)

實(shí)驗(yàn)結(jié)束后對數(shù)據(jù)進(jìn)行后處理計算，檢驗(yàn)計算結(jié)果的sigma。

檢驗(yàn)方法

檢驗(yàn)器具

檢驗(yàn)頻度

檢驗(yàn)計算結(jié)果的sigma值，sigma值在0.05像素以內(nèi)表示合格

無

每組實(shí)驗(yàn)檢驗(yàn)一次

采用引伸計標(biāo)定儀或高精度位移計，將測量結(jié)果與真值進(jìn)行比較，檢驗(yàn)絕對誤差。

檢驗(yàn)方法

檢驗(yàn)器具

檢驗(yàn)頻度

將引伸計標(biāo)定儀或高精度位移計移動一個位移值，作為真值，本設(shè)備測量結(jié)果與真值進(jìn)行比較。

引伸計標(biāo)定儀或高精度位移計

每半年檢驗(yàn)一次或?qū)?shù)據(jù)存疑時立即檢驗(yàn)。

圖：測量結(jié)果